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　　摘 要：在石油、化工企業(yè)，以及地下燃氣管道、加油站等地方，容易存在可燃氣體泄露的隱患。傳統(tǒng)的方法是用催化燃燒氣敏元件來檢測可燃氣體的泄露，隨著智能物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展，越來越多的研究者研究MEMS可燃氣體傳感…